[实用新型]晶圆承盘的端盖结构有效
| 申请号： | 201520226477.1 | 申请日： | 2015-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN204642587U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 罗郁南 | 申请（专利权）人： | 晨州塑胶工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B65D59/06 | 分类号： | B65D59/06;B65D85/30 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 中国台湾台中*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆承盘的端盖结构，包括：一端盖，该端盖设一承接槽，该承接槽设有多个肋条，在运送过程是将多个晶圆承盘设置于该端盖的承接槽内，并利用该承接槽内的肋条抵住于该晶圆承盘上、下表面，使该晶圆承盘在运送至烘烤制程时，不仅可具有在运送过程中不会有脱落之虞，亦可利用承接槽内的多个肋条避免该端盖及晶圆承盘因热胀冷缩导致过紧现象，令该晶圆承盘难以取出。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆承盘 结构 | ||
【主权项】：
一种晶圆承盘的端盖结构，其包括：一端盖，该端盖设有一承接槽，藉该承接槽套接于一晶圆承盘的端部。
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