[实用新型]一种深度脱氧装置

摘要

本实用新型涉及一种深度脱氧装置；所述装置包括依次连通的气体加热装置(4)、一号脱氧通道(1)、二号脱氧通道(2)、三号脱氧通道(3)；所述一号脱氧通道(1)、二号脱氧通道(2)、三号脱氧通道(3)采用串联-立式排列；所述一号脱氧通道(1)内设有铜网；所述二号脱氧通道(2)内设有钛网；所述三号脱氧通道(3)内设有镁网；所述铜网的目数大于等于20；所述钛网的目数大于等于20；所述镁网的目数大于等于20。采用该装置对纯度为99.999％的Ar气进行脱氧处理，其脱氧精度可达10^-21ppm。本实用新型所设计装置能在常压下进行高效的深度脱氧，具有设备简单，脱氧剂可循环使用等优势。

主权项

一种深度脱氧装置，其特征在于：包括依次连通的气体加热装置(4)、一号脱氧通道(1)、二号脱氧通道(2)、三号脱氧通道(3)；所述一号脱氧通道(1)、二号脱氧通道(2)、三号脱氧通道(3)采用串联‑立式排列；所述一号脱氧通道(1)内设有铜网；所述二号脱氧通道(2)内设有钛网；所述三号脱氧通道(3)内设有镁网；所述铜网的目数大于等于20；所述钛网的目数大于等于20；所述镁网的目数大于等于20。