[实用新型]一种电感耦合式射频等离子体源有效
| 申请号： | 201520232324.8 | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN204498455U | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 郭方准;孙秀宇;侯宾宾;薛冬冬;游燕;臧侃;董华军 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 姜玉蓉;李洪福 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频电流的驱动下，激发变化的磁场感生回旋电场。电子在有旋电场的加速下作回旋运动，与反应源气体分子碰撞将其电离。由于电子的回旋运动增加了与气体分子的碰撞，射频等离子体源可产生密度较高的等离子体，而且设备结构简单，能独立控制离子能量和等离子体密度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 射频 等离子体 | ||
【主权项】：
一种电感耦合式射频等离子体源，其特征在于：包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接；所述支撑连接机构包括法兰组件(19‑17)、以及穿过法兰组件(19‑17)的双层管件(9‑11)；所述反应气体导入机构与法兰组件(19‑17)相连接、包括控制导入气体的开启与关闭的角阀(25)，所述角阀(25)的一端与导气管接头(27)相连接，所述角阀(25)的另一端与三通连接件(29)相连接，所述三通连接件(29)与容纳反应气体的双层管件(9‑11)相连接；所述等离子体发生机构包括电极(16)、导波片(13)、绝缘管(12)、电感线圈(3)和真空介电窗(4)，所述电极(16)设置在法兰组件(19‑17)上，所述电感线圈(3)缠绕于真空介电窗(4)上，所述导波片(13)与电感线圈(3)相连接，所述绝缘管(12)套接在导波片(13)上；所述水冷机构包括设置在法兰组件(19‑17)上的进水管接头(18.1)、冷水管组件(20‑1)和出水管接头(18.2)，所述进水管接头(18.1)、冷水管组件(20‑1)和出水管接头(18.2)形成一闭合回路。
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