[实用新型]一种大尺寸靶材吊运装置

摘要

本实用新型属于金属材料加工和微电子材料制造领域，涉及一种大尺寸靶材吊运装置，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统。通过主横梁和支撑梁进行快速组合，形成不同长度和宽度的工装。与现有吊运工装相比，增加了气动吸盘，降低了零件吊运时的磕碰划伤，获得了更好的零件表面质量。并且对吸盘进行了合理布局，在零件重心位置增加吸盘数量，有效的缓解了零件在吊运过程中的变形问题，可以获得平面度更好的靶材。结构简单，可以任意组合，根据所需吊运的零件快速组合成所需工装，减少了专用工装数量，降低了工装成本。

主权项

一种大尺寸靶材吊运装置，其特征在于，包括：主横梁、支撑梁、气动吸盘、销轴、气动控制开关、气源系统；其中，多个气动吸盘固定在主横梁和支撑梁下方，主横梁一侧开有槽，槽上下两侧开口对齐的固定孔，且这些固定孔等距分布，主横梁和支撑梁的两端均开有固定孔，通过将支撑梁的固定孔与主横梁两端的固定孔或中间的固定孔用销轴固定后形成多种吊运装置，用于适应不同形状的靶材；气动吸盘通过气动控制开关与气源系统相连。