[实用新型]一种具有防静电功能的新型UV切割膜有效
| 申请号： | 201520242283.0 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN204569803U | 公开（公告）日： | 2015-08-19 |
| 发明（设计）人： | 王成 | 申请（专利权）人： | 上海东煦电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/02 | 分类号： | C09J7/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200052 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型记载了一种具有防静电功能的新型UV切割膜，包括基材膜层、UV胶粘膜层以及离型膜层，且基材膜层贴合于UV胶粘膜层的上表面，而离型膜层贴合于UV胶粘膜层的下表面；其中，在基材膜层的上表面覆盖有抗静电涂层，该抗静电涂层由防静电涂布液构成且厚度为0.001～0.004mm。由于采用了上述技术，即本实用新型通过在基材膜层的表面喷涂一层0.001～0.004mm厚的防静电涂层，使得基材膜层的表面电阻率达到106Ω/sq～108Ω/sq，从而降低了晶圆切割捡取晶粒时产生静电的可能性，进而避免了对芯片损伤的风险，同时具备了加工简单和延展性好等优点，并最终达到了提高产品良率和降低生产成本等目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 静电 功能 新型 uv 切割 | ||
【主权项】：
一种具有防静电功能的新型UV切割膜，包括基材膜层、UV胶粘膜层以及离型膜层，所述基材膜层贴合于UV胶粘膜层的上表面，所述离型膜层贴合于UV胶粘膜层的下表面；其特征在于，所述基材膜层的上表面覆盖有抗静电涂层，所述抗静电涂层由防静电涂布液构成且厚度为0.001～0.004mm。
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