[实用新型]具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机

摘要

本实用新型涉及半导体组件的光刻领域，提出了一种具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机，其包括光罩存储区、曝光-检测单元、光罩暂存区和清洗-干燥单元，其中，所述曝光-检测单元包括曝光机和检测光罩板外观的检测装置，所述检测装置位于曝光机的承载所述光罩板的光罩载台侧边；所述光罩存储区、曝光机、光罩暂存区、清洗-干燥单元依次通过传输件连接，用于传送光罩板。本实用新型采用自动化的一体机进行光罩板的曝光使用、外观检测、清洗和干燥的操作，提高了生产效率，通过改善了光罩板外观检测的区域，减少光罩板由于边缘损坏而报废的数量。

主权项

具有曝光、检测、清洗和干燥功能的一体机，包括光罩存储区、曝光‑检测单元、光罩暂存区和清洗‑干燥单元，其特征在于：所述曝光‑检测单元包括曝光机和检测光罩板外观的检测装置，所述检测装置位于曝光机的承载所述光罩板的光罩载台侧边；所述光罩存储区、曝光机、光罩暂存区、清洗‑干燥单元依次通过传输件连接，实现光罩板的自动循环使用。