[实用新型]一种去耦反应离子刻蚀设备之上接地环基座接地装置

摘要

一种去耦反应离子刻蚀设备之上接地环基座接地装置，包括：加热器，加热器之下表面具有绝缘涂层，并用于提供工艺要求温度；上接地环基座，外包于加热器；固定螺栓，穿设在加热器和上接地环基座之间，并将加热器和上接地环基座固定设置；绝缘垫片，设置在上接地环基座与固定螺栓之间，且上接地环基座与加热器和固定螺栓之间绝缘。本实用新型通过在上接地环基座和固定螺栓之间设置绝缘垫片，使得上接地环基座和固定螺栓完全隔离，确保上接地环基座之金属底材不会发生局部外露，避免上接地环基座和加热器通过局部外露的金属底材导通产生电弧，不仅提高产品良率，而且降低生产成本。

主权项

一种去耦反应离子刻蚀设备之上接地环基座接地装置，其特征在于，所述去耦反应离子刻蚀设备之上接地环基座接地装置包括：加热器，所述加热器之下表面具有绝缘涂层，并用于提供工艺要求温度；上接地环基座，外包于所述加热器；固定螺栓，穿设在所述加热器和所述上接地环基座之间，并将所述加热器和所述上接地环基座固定设置；绝缘垫片，设置在所述上接地环基座与所述固定螺栓之间，且所述上接地环基座与所述加热器和所述固定螺栓之间绝缘。