[实用新型]一种超声喷雾热解镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种超声喷雾热解镀膜装置，包括气柜（1）、超声雾化装置、喷雾头、和带基片（2）的加热台（3），其特征是：所述气柜（1）通过进气管（4）与超声雾化装置连通，所述超声雾化装置通过管道（5）与喷雾头连通，所述喷雾头位于加热台（3）方且与加热台（3）相对应，在所述加热台（3）下方设置有XY移动平台（13），在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。本实用新型具有结构设计巧妙、操作方便、成本低廉的优点，采用它不但能够长时间进行大面积薄膜的制备，使薄膜的产品面积和厚度得到控制，而且还解决了镀膜过程中滴水问题的产生，提高了薄膜产品的成品率及品质。

主权项

一种超声喷雾热解镀膜装置，包括气柜（1）、超声雾化装置、喷雾头、和带基片（2）的加热台（3），其特征是：所述气柜（1）通过进气管（4）与超声雾化装置连通，所述超声雾化装置通过管道（5）与喷雾头连通，所述喷雾头位于加热台（3）方且与加热台（3）相对应，在所述加热台（3）下方设置有XY移动平台（13），在所述超声雾化装置外设置有冷却装置。