[实用新型]一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置有效
| 申请号： | 201520261691.0 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204589290U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 成林 | 申请（专利权）人： | 昆山浦元真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，包括：真空室和工件转架，所述工件转架固定安装在真空室内部，所述工件转架内部安装有偏压辅助装置，所述工件转架表面放置有镀膜工件；所述真空室的边缘处固定设置有电弧蒸发源，所述真空室的下方分别设置有偏压电源和电弧蒸发源，所述偏压电源通过偏压电源线路分别和真空室、偏压辅助装置固定连接；所述电弧蒸发电源通过电弧蒸发源线路分别和真空室、电弧蒸发源固定连接；本实用新型通过在蒸发源和镀膜工件的一侧安装偏压辅助装置，增强电弧离子真空镀膜机的使用功能，让电弧离子真空镀膜机也能在塑料或其它不耐温材料表面镀制膜层，本实用新型结构较为简单，实用性较高，适合推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电弧 离子 真空镀膜 偏压 辅助 装置 | ||
【主权项】：
一种电弧离子真空镀膜机偏压辅助装置，其特征在于：包括真空室(1)和工件转架(7)，所述工件转架(7)固定安装在真空室(1)内部，所述工件转架(7)内部安装有偏压辅助装置(8)，所述工件转架(7)表面放置有镀膜工件(9)；所述真空室(1)的边缘处固定设置有电弧蒸发源(6)，所述真空室(1)的下方分别设置有偏压电源(2)和电弧蒸发源(3)，所述偏压电源(2)通过偏压电源线路(4)分别和真空室(1)、偏压辅助装置(8)固定连接；所述电弧蒸发电源(3)通过电弧蒸发源线路(5)分别和真空室(1)、电弧蒸发源(6)固定连接。
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