[实用新型]一种研磨盘平整度测量工具有效
| 申请号： | 201520262316.8 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN204514257U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 宗艳民;张志海;高玉强;梁庆瑞;孙诗甫;李秀杰 | 申请（专利权）人： | 山东天岳晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/28 | 分类号： | G01B5/28 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻;孙亚琳 |
| 地址： | 250101 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨盘平整度测量工具。其包括带有可升降的升降杆(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度测量仪(4)，所述升降杆(10)顶端安装有万向节轴承(9)，所述卡槽(8)下部与所述万向节轴承(9)连接，所述平整度测量仪(4)设置在所述卡槽(8)内。本实用新型结构简单，操作方便，能够保证测量准确度，能有效避免研磨盘不平而导致的晶片破损，且可以实现单人操作，省时省力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 平整 测量 工具 | ||
【主权项】：
一种研磨盘平整度测量工具，其特征是：包括带有可升降的升降杆(10)的升降支架(1)、卡槽(8)、平整度测量仪(4)，所述升降杆(10)顶端安装有万向节轴承(9)，所述卡槽(8)下部与所述万向节轴承(9)连接，所述平整度测量仪(4)设置在所述卡槽(8)内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳晶体材料有限公司，未经山东天岳晶体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520262316.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
