[实用新型]一种MOCVD设备及其托盘旋转支撑结构

摘要

本实用新型提供一种MOCVD设备及其托盘旋转支撑结构，其包含托盘及从下方对该托盘进行支撑并带动该托盘旋转的旋转轴；所述托盘的底面设置有第一凸起，其对应插入到所述旋转轴顶部设置的第一凹坑中；所述托盘的底面还设置有位于第一凸起周边的第二凸起，所述旋转轴顶部还设置有容纳第一凹坑的外缘部分，该外缘部分插入到第二凸起与托盘底面共同形成的收容空间中，使得托盘相对旋转轴转动时该外缘部分被限定在第一凸起及第二凸起之间。本实用新型能够通过第二凸起接触外缘部分，由定位凸起卡住旋转轴，以限制旋转轴和托盘之间的打滑，从而实现托盘和旋转轴之间的旋转同步，保证生长工艺的均匀性。

主权项

一种托盘旋转支撑结构，其特征在于，包含：托盘，以及从下方对该托盘进行支撑并带动该托盘旋转的旋转轴；所述托盘的底面中心设置有第一凸起，其对应插入到所述旋转轴顶部设置的第一凹坑中；所述托盘的底面还设置有位于第一凸起外围的第二凸起，所述旋转轴顶部还设置有容纳第一凹坑的外缘部分，该外缘部分插入到第一凸起、第二凸起及托盘底面共同形成的收容空间中，使得托盘相对旋转轴转动时该外缘部分被限定在第一凸起及第二凸起之间。