[实用新型]一种四倍程的双频外差激光干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种四倍程的双频外差激光干涉仪，包括双频激光器，偏振分光镜，二个四分之一波片，移动镜，固定镜和二个角锥棱镜。其特征是稳定性能好，结构简单，测量信号的四倍程光路可提高双频外差激光干涉仪的测量精度，使得双频外差激光干涉仪的分辨率达到0.15nm，主要适用于纳米技术、超精密机械加工、微型机电系统的制造与检测等涉及的精密测量领域。

主权项

一种四倍程的双频外差激光干涉仪，其特征是包括一个双频激光器(1)，偏振分光镜(2)，二个四分之一波片(3)、(5)，移动镜(4)，固定镜(6)，二个角锥棱镜(7)、(8)，在双频激光器(1)的输出光路上设置一偏振分光镜(2)，在该偏振分光镜(2)的透射光方向设置有第一四分之一波片(3)和移动镜(4)，在该偏振分光镜(2)的反射光方向设置有第二四分之一波片(5)和固定镜(6)，在第二四分之一波片(5)和固定镜(6)相对于偏振分光镜(2)对称的方向设置第一角锥棱镜(7)，在双频激光器(1)和偏振分光镜(2)之间设置第二角锥棱镜(8)。