[实用新型]覆盖丝网的溅射腔室挡板有效
| 申请号： | 201520267078.X | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN204644451U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 王跃翔 | 申请（专利权）人： | 北京冠华东方玻璃科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102444 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种溅射腔室挡板，是该腔室的上挡板或下挡板，该腔室挡板具有一个挡板体，一个安装固定板，和一个固定在该挡板体表面的金属丝网，沉积在腔室挡板上的溅射物质脱落形成的细小渣滓落到该金属丝网的网孔内，该丝网固定这些细小渣滓，防止它们飞溅，避免了在玻璃镀膜时这些脱落的溅射物渣滓将蹦溅到玻璃表面，而造成玻璃表面因蹦渣形成表面斑点缺陷，提高了提高玻璃镀膜的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 覆盖 丝网 溅射 挡板 | ||
【主权项】：
一种溅射腔室挡板，具有一个挡板体，一个安装固定板，其特征在于具有一个固定在该挡板体表面的金属丝网，该挡板体周边具有金属丝网固定压条，该固定压条上开有固定螺钉孔，固定螺丝通过该固定压条上的螺钉孔并旋入在该下挡板上的螺钉孔。
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