[实用新型]用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统

摘要

本实用新型公开了一种用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统，所述尾气包括DEZ尾气和TMA尾气，所述尾气处理系统包括与气体供应站房真空泵排气管连通的尾气入口、与尾气排放口连通的尾气出口和可调式恒温加热的加热装置，所述加热装置设置在尾气入口和尾气出口之间，所述加热装置包括用于可调式恒温加热的管道式外壁，所述管道式外壁的内腔设有阻隔式风道。本实用新型的用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统具有尾气处理能力强、尾气处理速度快、安全性高、成本低廉和操作简单的特点。

主权项

一种用于薄膜太阳能电池的尾气处理系统，所述尾气包括DEZ尾气和TMA尾气，所述尾气处理系统包括与气体供应站房真空泵（9）排气管连通的尾气入口（1）和与尾气排放口连通的尾气出口（2），其特征在于：所述尾气处理系统还包括可调式恒温加热的加热装置，所述加热装置设置在尾气入口（1）和尾气出口（2）之间，所述加热装置包括用于可调式恒温加热的管道式外壁，所述管道式外壁的内腔设有阻隔式风道。