[实用新型]新型热蒸发用坩埚结构有效
| 申请号： | 201520276064.4 | 申请日： | 2015-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN204589289U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 王晓强;钟奇志;朱梦楠 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 重庆辉腾律师事务所 50215 | 代理人： | 侯懋琪;卢胜斌 |
| 地址： | 400060 重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型热蒸发用坩埚结构；其包括埚体，改进在于：所述埚体内壁上套接有筒状内胆，内胆下端与埚体底部之间留有间隙。主要用途及优点：坩埚增加了“内胆”结构，可以抑制热蒸发过程中“爬锅”现象。新坩埚结构简单，安装方便，成本低廉，实用性强。使用新坩埚不仅金属化薄膜生长的量产化效率最佳，同时也能够确保热蒸发工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 蒸发 坩埚 结构 | ||
【主权项】：
一种新型热蒸发用坩埚结构，包括埚体（2），其特征在于：所述埚体（2）内壁上套接有筒状内胆（3），内胆（3）下端与埚体（2）底部之间留有间隙。
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