[实用新型]光栅分光偏振移相干涉系统有效

专利信息
申请号: 201520276426.X 申请日: 2015-04-28
公开(公告)号: CN204903022U 公开(公告)日: 2015-12-23
发明(设计)人: 林燕彬 申请(专利权)人: 林燕彬
主分类号: G01J9/02 分类号: G01J9/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350200 *** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型涉及一种光栅分光偏振移相干涉系统,由点光源(1)、聚光镜(2)、光阑(3)、准直镜(4)、第一反射镜(41)、第一移相器(42)、第一探测器(43)、第一半反半透镜(51)、第二移相器(52)、第二探测器(53)、第二半反半透镜(61)、第三移相器(62)、第三探测器(63)、第二反射镜(71)、第四移相器(72)和第四探测器(73)构成,第一探测器(43)、第二探测器(53)、第三探测器(63)和第四探测器(73)并列平行设置,第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器(62)和第四移相器(72)也并列平行设置。本实用新型提供的光栅分光偏振移相干涉系统是在同一时刻不同位置获得具有特定相移的多幅干涉图,这时尽管系统依然处于振动环境中,但对各干涉图的影响相同,从根本上克服了振动的影响,实现了相位的动态测量。
搜索关键词: 光栅 分光 偏振 相干 系统
【主权项】:
一种光栅分光偏振移相干涉系统,其特征在于:所述光栅分光偏振移相干涉系统由点光源(1)、聚光镜(2)、光阑(3)、准直镜(4)、第一反射镜(41)、第一移相器(42)、第一探测器(43)、第一半反半透镜(51)、第二移相器(52)、第二探测器(53)、第二半反半透镜(61)、第三移相器(62)、第三探测器(63)、第二反射镜(71)、第四移相器(72)和第四探测器(73)构成,第一探测器(43)、第二探测器(53)、第三探测器(63)和第四探测器(73)并列平行设置,第一移相器(42)、第二移相器(52)、第三移相器(62)和第四移相器(72)也并列平行设置。
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