[实用新型]微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器

摘要

本实用新型公开了一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；硅基座中部设有通孔，绝缘膜覆盖在基座及其通孔上，其中绝缘膜覆盖形成有悬臂梁；加热单元包括加热丝和电极，加热丝设于悬臂梁上，电极设于绝缘膜上；均热板位于通孔中，并连接于悬臂梁的下方。本实用新型采用悬臂梁，减少微加热器的热传导散热；采用复合绝缘膜，实现了应力的补偿，增大了悬臂梁的结构稳定性；采用了微弹簧，释放了复合膜的本征应力和微加热器工作时产生的热胀应力；采用均热板，大大提高了反映区域的均温性，提高了反应精度；可采用硅基MEMS工艺，可以和大规模集成电路工艺完美兼容，适于大规模生产。

主权项

一种微弹簧式悬臂梁自带均热板微加热器，其特征在于：包括硅基座、绝缘膜、加热单元以及均热板；所述硅基座中部设有通孔，所述绝缘膜覆盖在所述基座及其通孔上，其中所述绝缘膜覆盖在所述通孔上的部分设有空气隙而形成悬臂梁；所述加热单元包括加热丝和电极，所述加热丝设于所述悬臂梁上，所述电极设于所述绝缘膜上；所述均热板位于所述通孔中，并连接于所述悬臂梁的下方。