[实用新型]一种具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚

摘要

本实用新型公开了一种具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，包括埚体、埚盖和排气筒，排气筒的下端和埚盖均设置有多个环形凹槽，排气筒的上端和埚体均设置有多个环形凸起，排气筒的下端通过环形凹槽和环形凸起与埚体密封连接，排气筒的上端通过环形凹槽和环形凸起与埚盖密封连接，排气筒与埚盖的连接处套有上密封条，排气筒与埚体的连接处套有下密封条，排气筒的侧壁设置有多个与埚体内部相通的折叠式排气孔。本实用新型埚体与埚盖之间设置了具有多个折叠式排气孔结构的排气筒，且排气筒与埚盖和埚体之间都采用了多层密封结构连接，这种结构既能保证排出内部气体，也能防止外部杂物进入埚体内部，而且整个结构易于拆装，操作非常方便。

主权项

一种具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，包括埚体和埚盖，其特征在于：还包括排气筒，所述排气筒的下端和所述埚盖均设置有多个环形凹槽，所述排气筒的上端和所述埚体均设置有多个环形凸起，所述排气筒的下端通过所述环形凹槽和所述环形凸起与所述埚体密封连接，所述排气筒的上端通过所述环形凹槽和所述环形凸起与所述埚盖密封连接，所述排气筒与所述埚盖的连接处套有上密封条，所述排气筒与所述埚体的连接处套有下密封条，所述排气筒的侧壁设置有多个与所述埚体内部相通的折叠式排气孔。