[实用新型]一种显影装置有效
| 申请号： | 201520292722.9 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN204694991U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 石孟阳;崔兴永;庄奎乾;谢庆丰 | 申请（专利权）人： | 深圳市科利德光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 深圳市弘拓知识产权代理事务所(普通合伙) 44320 | 代理人： | 李新梅 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区龙岗街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种显影装置，包括机架、设置于机架上的液槽以及载台，所述载台用于承载光罩，所述液槽用于向光罩排放显影液，所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出，所述载台与溢流口间隔设置，载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶，使用时光罩的两侧分别搭载在溢流口以及载台的其中一台阶上，所述各台阶具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭载在不同高度的台阶使光罩保持水平，结构简单、成本低廉；显影液通过溢流口向外溢流，其流动稳定、时间确定、操作可控，效果稳定；通过载台的台阶对不同规格的光罩形成支撑，保证光罩水平，产品通用性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种显影装置，包括机架、设置于机架上的液槽以及载台，所述载台用于承载光罩，所述液槽用于向光罩排放显影液，其特征在于：所述液槽在其顶部形成有溢流口供显影液溢出，所述载台与溢流口间隔设置，载台在其朝向溢流口的一侧形成有若干台阶，使用时光罩的两侧分别搭载在溢流口以及载台的其中一台阶上，所述各台阶具有不同的水平高度，不同厚度的光罩搭载在不同高度的台阶使光罩保持水平。
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