[实用新型]一种吸气剂性能测试平台

摘要

本实用新型涉及一种吸气剂性能测试平台，属于真空电子器件领域。包括主管路，还包括：样品玻壳通过第一截止阀与主管路连接；四级质谱仪通过第二截止阀与主管路连接；涡轮分子泵通过插板阀与主管路连接，所述涡轮分子泵还通过第三截止阀与机械泵连接。使用本实用新型的装置测试吸气剂性能时，将吸气剂焊接电极后，封接在样品玻壳中。本实用新型通过测试加电后吸气剂释放的H₂的速率来评价吸气剂的性能。本实用新型适用于在无气体充入的情况下检测吸气剂的性能。与传统吸气剂检测方法不同在于，检测过程中无需充入气体，特别是有一定危险性的氢气。

主权项

一种吸气剂性能测试平台，其特征在于，包括主管路(3)，还包括：样品玻壳（1）通过第一截止阀（7.1）与主管路（3）连接；四级质谱仪（2）通过第二截止阀（7.2）与主管路（3）连接；涡轮分子泵（5）通过插板阀（8）与主管路（3）连接，所述涡轮分子泵（5）还通过第三截止阀（7.3）与机械泵（6）连接。