[实用新型]一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器有效
| 申请号： | 201520299885.X | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN204988534U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 吴晟;梁津津;程敏;兰卉;田雨;邓云;李红志 | 申请（专利权）人： | 国家海洋技术中心 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 天津市鼎和专利商标代理有限公司 12101 | 代理人： | 郑乘澄 |
| 地址： | 300112*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器，涉及传感器技术领域，其特征在于：所述高灵敏度薄膜型电阻温度传感器包括衬底(1)和过渡层(2)；其特征是：所述衬底(1)包括两个衬底薄膜，所述过渡层(2)的边缘搭接于两个衬底薄膜上，并固接为一体；在所述的过渡层(2)上生长有图案薄膜电阻层(3)，在所述图案薄膜电阻层(3)上设有图案金属电极层(4)。通过采用上述技术方案，本实用新型中衬底和过渡层之间的接触面积急剧减少，因此避免了衬底快速的导热效应，从而降低了衬底热传递系数，提高了薄膜电阻传感器的温度灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 薄膜 电阻 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种高灵敏度薄膜型电阻温度传感器，其特征在于：包括衬底(1)和过渡层(2)；其特征是：所述衬底(1)包括两个衬底薄膜，所述过渡层(2)的边缘搭接于两个衬底薄膜上，并固接为一体；在所述的过渡层(2)上生长有图案薄膜电阻层(3)，在所述图案薄膜电阻层(3)上设有图案金属电极层(4)。
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