[实用新型]检测系统

摘要

本实用新型提供了一种检测系统。该检测系统包括氢气供应装置、惰性气体供应装置、汽化室和混气室，汽化室具有用于通入氯硅烷的进样口，混气室的第一入口与汽化室的出口相连通，氢气供应装置的出口和惰性气体供应装置的出口并联连接于混气室的第二入口；该检测系统还包括依次串联设置的氯硅烷还原装置、脱除装置、甲烷吸脱附装置、气相色谱仪和数据输出装置，且氯硅烷还原装置的入口与混气室的出口连通，脱除装置用于去除氯化氢和未反应的氯硅烷。本实用新型通过氯硅烷还原装置将含氯硅烷中的碳元素氢化还原为甲烷，然后将甲烷送入气相色谱仪中并对甲烷中的碳含量进行测定，从而实现了检测含氯硅烷中的总碳含量。

主权项

一种检测系统，用于检测含氯硅烷中的总碳含量，其特征在于，所述检测系统包括氢气供应装置、惰性气体供应装置、汽化室和混气室，所述汽化室具有用于通入氯硅烷的进样口，所述混气室的第一入口与所述汽化室的出口相连通，所述氢气供应装置的出口和所述惰性气体供应装置的出口并联连接于所述混气室的第二入口；所述检测系统还包括依次串联设置的氯硅烷还原装置、脱除装置、甲烷吸脱附装置、气相色谱仪和数据输出装置，且所述氯硅烷还原装置的入口与所述混气室的出口连通，所述脱除装置用于去除氯化氢和未反应的所述氯硅烷。