[实用新型]一种扫描电子显微镜模具载台有效
| 申请号： | 201520300729.0 | 申请日： | 2015-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN204760348U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 陈兴 | 申请（专利权）人： | 铭凯益电子（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种扫描电子显微镜模具载台，包括载台本体、支撑杆，所述支撑杆位于所述载台本体下部；所述载台本体表面设有至少8个载物孔，所述载物孔均匀排列成圆形；所述载物孔内部设有凸环；所述支撑杆上套有固定块，所述固定块底部设有插槽，本装置的有益效果是：1、本装置一次至少能放至少8个模具，解决了一次检测需要进行抽真空的复杂步骤，减少了抽真空次数，提高工作效率；2、载物孔旁设有数字标示，便于不同的模具的对比记录；3、使用方形的支撑杆，支撑更牢固，不会转动，并且下部设有插槽，安装便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 模具 | ||
【主权项】：
一种扫描电子显微镜模具载台，其特征在于，包括载台本体、支撑杆，所述支撑杆位于所述载台本体下部；所述载台本体表面设有至少8个载物孔，所述载物孔均匀排列成圆形；所述载物孔内部设有凸环；所述支撑杆上套有固定块，所述固定块底部设有插槽。
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