[实用新型]一种应用柔性背极的硅电容麦克风有效
| 申请号： | 201520308645.1 | 申请日： | 2015-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN204598315U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;杨少军 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;朱世定 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其中，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽。在现有工艺水平下，硅电容麦克风的灵敏度、线性度、信噪比、敏感电容、动态响应等性能指标和产品环境适应性，由于应用本实用新型的设计手段而得以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用 柔性 电容 麦克风 | ||
【主权项】：
一种用于应用柔性背极的硅电容麦克风，包括基底、振膜和柔性背极，所述柔性背极与所述振膜形成可变电容，其特征在于，所述柔性背极因残余应力导致的翘曲小于或等于20微米，所述柔性背极上设置有波纹或加强筋，并且所述柔性背极上还设置有开孔或开槽。
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