[实用新型]一种三单元磁四极透镜系统

摘要

本实用新型公开了一种三单元磁四极透镜系统。本实用新型的三单元磁四极透镜系统包括：由三个透镜单元组成的三单元磁四极透镜组，以及穿过透镜组中心的束流输运管道；束流输运管道采用端密封结构，包括透镜管道主体、挡圈法兰、挡圈、O型密封圈和活法兰；采用双曲线柱面状磁极面使得四极磁场的磁等位面更加接近双曲线状，从而使对离子束的调试容易取得良好的聚焦效果；双曲线柱面状磁极面加工方程及磁极面加工断点坐标的给出，使得利用数控机床实现对高精度双曲线柱面状磁极面的加工变得非常容易；采用三单元透镜组使得对束流的调试更对称；透镜管道主体与活法兰之间的真空密封为端密封，使得输运管道的真空密封效果更好。

主权项

一种三单元磁四极透镜系统，其特征在于，所述三单元磁四极透镜系统包括：由三个透镜单元组成的三单元磁四极透镜组，以及穿过透镜组中心的束流输运管道；所述三单元磁四极透镜组中的每一个透镜单元由磁轭和四个对称的磁极构成，每一个磁极的磁极面形状为双曲线柱面状，每一个磁极上缠绕有用以产生聚焦磁场的励磁线圈，四个磁极的双曲线柱面状磁极面的顶部构成的圆周称之为透镜单元的中心通孔，其直径为D；所述束流输运管道采用端密封结构，包括透镜管道主体、挡圈法兰、挡圈、O型密封圈和活法兰；其中，所述透镜管道主体端口处的外侧面设置凹槽；挡圈法兰将两个半环形的挡圈限定在凹槽里；在活法兰上设置O型密封圈的密封槽,透镜管道主体的顶端与活法兰之间设置O型密封圈；所述挡圈法兰中设置有多个通孔，与挡圈法兰中的多个通孔相对应，活法兰上设置有多个半透内螺纹孔；所述挡圈法兰的通孔与对应的活法兰上的半透内螺纹孔同轴，通过螺钉将两者锁定，从而使透镜管道主体与活法兰紧密连接成为一体，透镜管道主体的顶端面紧压设置在活法兰的密封槽中的O型密封圈形成端密封。