[实用新型]一种磁控溅射圆柱旋转靶在线自动检测装置有效
| 申请号： | 201520324195.5 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN204757936U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 王利民;王宏杰;刘小雨;魏小涛;周志虎;胡党平 | 申请（专利权）人： | 江西共青城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/08 | 分类号： | G01B11/08;H01L31/08 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 332020 江西省九江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种磁控溅射圆柱旋转靶在线自动检测装置，包括由腔室壁组成的腔室以及控制装置, 腔室内设有圆柱旋转靶，所述腔室壁内侧设有直线电机轨道, 直线电机轨道上设有在轨运行模块, 在轨运行模块经可旋转轴连接测量模块,所述测量模块上设有可伸缩杆，可伸缩杆两侧分别设有线性探测灯 、光电位置感应器, 光电位置感应器连接控制装置。解决了在不开腔室情况下检测出靶材剩余情况的问题，具有结构简单、使用方便的特点，且减少了腔室的破空次数，减少了靶材的浪费，降低生产成本,对圆柱旋转靶不同位置的测量，可以为阴极设备的优化升级提高数据支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 圆柱 旋转 在线 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控溅射圆柱旋转靶在线自动检测装置，包括由腔室壁(1)组成的腔室以及控制装置, 腔室内设有圆柱旋转靶，其特征在于，所述腔室壁(1)内侧设有直线电机轨道（2）, 直线电机轨道（2）上设有在轨运行模块(3), 在轨运行模块(3)经可旋转轴(4)连接测量模块(A),所述测量模块(A)上设有可伸缩杆（5），可伸缩杆（5）两侧分别设有线性探测灯(6) 、光电位置感应器(7), 光电位置感应器(7)连接控制装置。
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