[实用新型]一种新型蓝宝石上轴结构有效
申请号: | 201520328924.4 | 申请日: | 2015-05-20 |
公开(公告)号: | CN204690168U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 曹建伟;朱亮;张俊;欧阳鹏根;沈兴潮 | 申请(专利权)人: | 内蒙古晶环电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 010070 内蒙古自治区呼*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体生长炉领域,旨在提供一种新型蓝宝石上轴结构。该上轴结构的称重盒的内部设有第一称重传感器、第二称重传感器和球面轴承;其中,第一称重传感器固定在称重盒的顶部,第二称重传感器的顶端接于第一称重传感器的底部,第二称重传感器的底部则通过球面轴承与籽晶杆顶端相接,籽晶杆竖直向下穿过称重盒的底部;籽晶杆的外部套设水冷轴套;上轴结构以调心平台为支撑,晶转电机通过皮带接至水冷轴套。本实用新型能够有效的提高上轴机构中称重信号的精度,并且能够同时满足上轴水冷要求;大大降低蓝宝石晶体生长炉的人工成本,摒弃了晶体质量的人为因素,实现了自动化程度高,操作方便,低成本的蓝宝石长晶炉。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 蓝宝石 结构 | ||
【主权项】:
一种新型蓝宝石上轴结构,包括籽晶杆;其特征在于,还包括称重盒,称重盒的内部设有第一称重传感器、第二称重传感器和球面轴承;其中,第一称重传感器固定在称重盒的顶部,第二称重传感器的顶端接于第一称重传感器的底部,第二称重传感器的底部则通过球面轴承与籽晶杆顶端相接,籽晶杆竖直向下穿过称重盒的底部;所述籽晶杆的外部套设水冷轴套且互不接触,水冷轴套的外部由上至下依次套设进出水套、固定套和波纹管;水冷轴套内部设冷却水通道,水冷轴套上开设进水口和出水口,分别与进出水套的进水腔和出水腔相对应;所述上轴结构以调心平台为支撑,进出水套和固定套均装设于调心平台上;调心平台上还设有晶转电机,晶转电机通过皮带接至水冷轴套,固定套的中部开设缺口用于穿过皮带。
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