[实用新型]用于测试射频GSG结构的探针卡有效
| 申请号： | 201520334345.0 | 申请日： | 2015-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN204758648U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 孟璇璇;张峻豪;张鸿军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于测试射频GSG结构的探针卡，包括电路板、探针模组和连接线，探针模组和连接线设置于电路板上，探针模组与射频GSG结构电连接并通过连接线与电路板电连接，其中，在射频GSG结构的测试信号的传输通道上设置有EMI滤波装置，用于提高探针卡的抗EMI能力，进而提高测试准确度。此外，EMI滤波装置可设置在与射频GSG结构的栅极焊垫连接的连接线上，EMI屏蔽效果好，且采用铁氧体元件并套接于连接线上，结构简单，导入方便。另外，利用跳线将与射频GSG结构的栅极焊垫连接的连接线以及与射频GSG结构的源极焊垫连接的连接线连通，并作为接地点，可以提升探针卡的接地效果，进一步提高测试准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 射频 gsg 结构 探针 | ||
【主权项】：
一种用于测试射频GSG结构的探针卡，包括电路板、探针模组和连接线，所述探针模组和所述连接线设置于所述电路板上，所述探针模组与所述射频GSG结构电连接，同时所述探针模组通过所述连接线与所述电路板电连接，以将所述射频GSG结构的测试信号传输至所述电路板，其特征在于，还包括设置于所述射频GSG结构的测试信号的传输通道上的EMI滤波装置。
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