[实用新型]一种带有安全互锁装置的单晶炉

摘要

本实用新型涉及一种带有安全互锁装置的单晶炉，包括上互锁装置和下互锁装置；所述上互锁装置包括上定位环、下定位环和定位插销，上定位环固定设置在所述副室筒的下法兰的侧部，下定位环固定设置在所述小副室上的限位杆的上部；下互锁装置包括左定位环、定位挂钩和右定位环，左定位环固定设置在炉盖上的炉盖法兰侧部，右定位环固定设置在所述上炉筒的上炉筒法兰侧部，定位挂钩一端与左定位环可拆卸连接，定位挂钩的另一端与右定位环可拆卸连接。在拆炉时能够将副室筒、炉盖、上炉筒旋转到一定位置后锁止，防止出现单晶磕碰等安全事故发生。可以满足即便是单晶长度增加，也可以将单晶安全平稳拆出的需求，具备操作简单，安全可靠的优点。

主权项

一种带有安全互锁装置的单晶炉，其包括副室筒(2)、炉盖(9)、小副室(6)、上炉筒(10)、下炉筒(17)和炉底(18)，所述炉盖(9)与所述小副室(6)为一体结构，其特征在于，还包括上互锁装置和下互锁装置；所述上互锁装置包括上定位环(4)、下定位环(5)和定位插销(3)，所述上定位环(4)固定设置在所述副室筒(2)的下法兰(7)的侧部，所述下定位环(5)固定设置在所述小副室(6)上的限位杆(8)的上部，所述定位插销(3)可拆卸插置于所述上定位环(4)和下定位环(5)内；所述下互锁装置包括左定位环(11)、定位挂钩(12)和右定位环(13)，所述左定位环(11)固定设置在所述炉盖(9)上的炉盖法兰(14)侧部，所述右定位环(13)固定设置在所述上炉筒(10)的上炉筒法兰(15)侧部，所述定位挂钩(12)一端与所述左定位环(11)可拆卸连接，所述定位挂钩(12)的另一端与所述右定位环(13)可拆卸连接。