[实用新型]一种提纯单晶硅生产中埚底料的酸泡处理装置有效
| 申请号： | 201520343114.6 | 申请日： | 2015-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN204727994U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 边志坚;李德建;张晓朋;申朝伦;米兴录 | 申请（专利权）人： | 河北宁通电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 刘磊娜 |
| 地址： | 055550 河北省邢*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种提纯单晶硅生产中埚底料的酸泡处理装置，其包括酸泡池、下连接管道、沉淀池和上连接管道，所述下连接管道一端与所述酸泡池的底部相连通，所述下连接管的另一端与所述沉淀池的底部相连通，所述下连接管上安装有阀门，所述上连接管道设置于所述酸泡池和所述沉淀池的上方，所述上连接管道的一端伸入所述酸泡池内，所述上连接管道的另一端伸入所述沉淀池内，所述上连接管道上设置有耐酸循环泵，所述沉淀池的底部设置有放酸口。本实用新型装置采用耐酸循环泵将酸循环起来，增加了酸与埚底料的接触面积，加快酸与石英的接触冲刷大大提高酸的腐蚀强度减少酸泡时间，提高了处理埚底料的工作效率。具备结构简单，处理高效的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提纯 单晶硅 生产 中埚底料 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种提纯单晶硅生产中埚底料的酸泡处理装置，其特征在于，其包括酸泡池(1)、下连接管道(2)、沉淀池(4)和上连接管道(5)，所述下连接管道(2)一端与所述酸泡池(1)的底部相连通，所述下连接管道(2)的另一端与所述沉淀池(4)的底部相连通，所述下连接管道(2)上安装有阀门(3)，所述上连接管道(5)设置于所述酸泡池(1)和所述沉淀池(4)的上方，所述上连接管道(5)的一端伸入所述酸泡池(1)内，所述上连接管道(5)的另一端伸入所述沉淀池(4)内，所述上连接管道(5)上设置有耐酸循环泵(6)，所述沉淀池(4)的底部设置有放酸口(7)。
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