[实用新型]硅片输送架有效
申请号: | 201520357406.5 | 申请日: | 2015-05-29 |
公开(公告)号: | CN204777653U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 卜健 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技股份有限公司 |
主分类号: | B65G49/07 | 分类号: | B65G49/07;B65G15/54 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 王明亮 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供一种硅片输送架,包括输送平台、转动设置于所述输送平台两端的滚筒、环形设置且绕设于两个所述滚筒上柔性输送网,所述柔性输送网由耐高温钢丝编织而成,其中一个所述滚筒由电机驱动转动,所述柔性输送网紧贴所述输送平台的上表面,所述输送平台的输出端设置有缓冲收集机构,通过使用耐高温输送网进行输送热处理后的硅片,不会对输送网造成损伤,延长输送架的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 硅片 输送 | ||
【主权项】:
硅片输送架,其特征在于:包括输送平台、转动设置于所述输送平台两端的滚筒、环形设置且绕设于两个所述滚筒上柔性输送网,所述柔性输送网由耐高温钢丝编织而成,其中一个所述滚筒由电机驱动转动,所述柔性输送网紧贴所述输送平台的上表面,所述输送平台的输出端设置有缓冲收集机构。
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