[实用新型]一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘有效
| 申请号： | 201520364224.0 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204676191U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 逯瑶;曲爽;王成新;王建立 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12 |
| 代理公司： | 济南日新专利代理事务所 37224 | 代理人： | 王书刚 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘，包括大石墨盘、小石墨盘和交叉支架，大石墨盘的中心设置有大连接柱，大连接柱上连接有交叉支架，交叉支架上以交叉点为中心在每个分支上均匀设置有小连接柱，每个小连接柱上连接一个小石墨盘，大石墨盘和每个小石墨盘上均分布有衬底槽。该石墨托盘通过在大石墨盘和小石墨盘上设置不同尺寸的衬底槽，适合各尺寸衬底外延；大石墨盘和小石墨盘通过特定尺寸的交叉支架、柱、凹槽的配合，可以设置不同的转速，来匹配不同尺寸衬底的外延，进一步提高外延片波长一致性和均匀性。通过进一步优化小石墨盘背面圆柱形凹槽的大小，可以调整小石墨盘中心片的温度，进一步提高外延片质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适合 尺寸 衬底 外延 提升 均匀 石墨 托盘 | ||
【主权项】：
一种适合各尺寸衬底外延并提升外延片均匀性的石墨托盘，包括大石墨盘、小石墨盘和交叉支架，其特征是，大石墨盘的中心设置有大连接柱，大连接柱上连接有交叉支架，交叉支架上以交叉点为中心在每个分支上均匀设置有小连接柱，每个小连接柱上连接一个小石墨盘，大石墨盘和每个小石墨盘上均分布有衬底槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东浪潮华光光电子股份有限公司，未经山东浪潮华光光电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520364224.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种纺丝机的排风装置
- 下一篇：一种剪刀型8英寸区熔单晶炉保温桶
