[实用新型]超高真空分子束外延蒸发装置有效
| 申请号： | 201520365256.2 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN204752902U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 张海霞;傅明晟;曾德丽;及刚 | 申请（专利权）人： | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 312025 浙江省绍兴市绍兴县柯*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种超高真空分子束外延蒸发装置。该超高真空分子束外延蒸发装置包括：水冷装置，水冷装置上设置有安装孔；加热装置，加热装置安装在安装孔内；热屏蔽装置，热屏蔽装置安装在安装孔内并围设在加热装置的外周，热屏蔽装置开设有散热部。本实用新型的超高真空分子束外延蒸发装置的温度稳定，便于提高本实用新型的蒸发装置的蒸发效率。 | ||
| 搜索关键词： | 超高 真空 分子 外延 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种超高真空分子束外延蒸发装置，其特征在于，包括：水冷装置(10)，所述水冷装置(10)上设置有安装孔(11)；加热装置，所述加热装置安装在所述安装孔(11)内；热屏蔽装置，所述热屏蔽装置安装在安装孔(11)内并围设在所述加热装置的外周，所述热屏蔽装置开设有散热部(52)。
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