[实用新型]镀铜槽

摘要

镀铜槽，包括槽体、设于槽体内的喷管阵列、阳极挂架、阳极阵列，其中：槽体，用于容纳电镀液，由一个U型槽体单元构成，或由多个U型槽体单元顺序连接构成；喷管阵列，具有多个并排的喷管，喷管的正面沿其高度方向上设有多个喷出镀液的喷嘴，喷管两侧边沿具有屏蔽槽；阳极挂架，用于提供阳极电流，具有沿U型槽体单元长度方向设置的导电扁；阳极阵列，具有多个阳极单体，其下部具有浸入电镀液的阳极片，阳极片的左右两侧边缘插入相邻两个喷管之间的屏蔽槽内。本实用新型能有效改善镀液中的电力线分布以消除边缘效应，又能有效地提供不超过电流密度上限的电流，提高了铜层的均匀性，提高了电镀效率，适用于背板、基板、柔性板等各种印刷电路板。

主权项

镀铜槽，包括槽体、设于槽体内的喷管阵列、阳极挂架、阳极阵列，其特征在于：槽体，用于容纳电镀液，由一个U型槽体单元构成，或由多个U型槽体单元顺序连接构成；U型槽体单元的侧壁具有至少一个镀液入口管，还具有至少一个镀液溢流回收装置；镀液入口管、镀液溢流回收装置与槽体外部的镀液循环系统连通；喷管阵列，具有多个并排的喷管，喷管的顶部密封，喷管的底部与镀液入口管连通，喷管的正面沿其高度方向上设有多个喷出镀液的喷嘴，喷管两侧边沿具有屏蔽槽；阳极挂架，用于提供阳极电流，具有至少一个置于U型槽体单元侧壁上沿的悬臂，悬臂的末端具有沿U型槽体单元长度方向设置的导电扁，导电扁位于U型槽体单元上方；阳极阵列，具有多个阳极单体，阳极单体的顶部悬挂在导电扁上实现电连接，其下部具有浸入电镀液的阳极片，阳极片的左右两侧边缘插入相邻两个喷管之间的屏蔽槽内，以屏蔽阳极片的左右两侧边缘的电流。