[实用新型]真空室组件有效
| 申请号： | 201520369470.5 | 申请日： | 2015-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN204690099U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 约亨·克劳瑟;斯蒂芬·莱曼 | 申请（专利权）人： | 冯·阿登纳有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 刘明海;杨生平 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 根据不同的实施方式提供一种真空室组件，其可具有：第一室壳体，其具有第一开口，用于容纳第一室盖；以及第二室壳体，其具有第二开口，用于容纳第二室盖；其中，第一室壳体的第一转送区域邻接第二室壳体的第二转送区域，用于将基体从第一室壳体运输进入二室壳体，或从第二室壳体运输进入第一室壳体，其中，第一室壳体和第二室壳体分别具有至少一个室法兰，用于将前级真空泵组件联接到室壳体，其中，这样地设置第一室盖，即，其减小第一室壳体的内部容积，且其中，第二室盖具有至少一个盖法兰，用于将高真空泵组件连接到第二室壳体。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 组件 | ||
【主权项】：
一种真空室组件，其具有：第一室壳体，其具有第一开口，用于容纳第一室盖；第二室壳体，其具有第二开口，用于容纳第二室盖；其中，第一室壳体的第一转送区域邻接第二室壳体的第二转送区域，用于将基体从第一室壳体运输进入二室壳体，或从第二室壳体运输进入第一室壳体；其中，第一室壳体和第二室壳体分别具有至少一个室法兰，用于将前级真空泵组件联接到室壳体；其中，这样地设置第一室盖，即，其减小第一室壳体的内部容积，其中，第二室盖具有至少一个盖法兰，用于将高真空泵组件连接到第二室壳体。
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