[实用新型]具有加热器的基板支撑组件

摘要

本公开案的实施方式涉及一种具有加热器的基板支撑组件。在一个实施方式中，基板支撑组件包括具有基板支撑表面的基板支撑基座、以及加热组件。所述加热组件设置在所述基板支撑基座中、接近所述基板支撑表面。所述加热组件配置成在所述加热组件的拐角处提供均匀热量分布。在另一实施方式中，基板支撑组件包括具有基板支撑表面的基板支撑基座、以及加热组件。所述加热组件设置在所述基板支撑基座中，并且包括内加热区和外加热区。所述内加热区设置在所述加热组件的中心并从所述中心延伸。所述外加热区限定所述加热组件的边缘。所述外加热区具有设置在所述加热元件的拐角处的多个耳形加热元件。

主权项

一种基板支撑组件，所述基板支撑组件包括：基板支撑基座，所述基板支撑基座具有基板支撑表面；以及加热组件，所述加热组件设置在所述基板支撑基座中、接近所述基板支撑表面，其中所述加热组件配置成在所述基板支撑表面的拐角处提供均匀热量分布。