[实用新型]一种方便存取硅片的下料盒有效
| 申请号： | 201520385242.7 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204696094U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 陈文杰;甘大源;薛东波;封春霞;王芳 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/673 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 王素花 |
| 地址： | 257300 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种方便存取硅片的下料盒，包括一角向下倾斜设置的底板，在与底板向下倾斜角相邻的两侧分别设有一相互垂直的侧挡板和后挡板，在底板底部设有一卡槽。通过在下料盒上设置出口，可防止不规则下落的硅片被卡在下料盒进口处或者下料盒侧挡板对硅片一端的挤压使硅片产生缺口或一定程度的损伤；另外，倾斜设置的底板，可使硅片慢慢滑动到底板倾斜角处的过程中在一定程度上自动调节方向，使硅片相对整齐；再者，两侧开口的下料盒不仅方便清洗，而且还方便存取硅片，给人们快速存取完整的硅片带来了极大的方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 存取 硅片 下料盒 | ||
【主权项】：
一种方便存取硅片的下料盒，其特征在于：包括一角向下倾斜设置的底板，在与底板向下倾斜角相邻的两侧分别设有一相互垂直的侧挡板和后挡板，在底板底部设有一卡槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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