[实用新型]纳米材料扫描电子显微装置有效
| 申请号： | 201520388491.1 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204809186U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈小梅 | 申请（专利权）人： | 陈小梅 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/244;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350206 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种纳米材料扫描电子显微装置，包括扫描发生器(1)、显像管(2)、放大变换器(3)、放大器(4)、收集器(5)、试样台(6)、灯丝(7)和多个透镜，所述放大器(4)分别与显像管(2)、收集器(5)和试样台(6)连接，多个透镜设置在灯丝(7)下方。本实用新型提供的纳米材料扫描电子显微装置，具有分辨率高、景深长，视野广、图像富有立体感等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 材料 扫描 电子 显微 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米材料扫描电子显微装置，其特征在于：所述纳米材料扫描电子显微装置主要包括扫描发生器(1)、显像管(2)、放大变换器(3)、放大器(4)、收集器(5)、试样台(6)、灯丝(7)和多个透镜，所述放大器(4)分别与显像管(2)、收集器(5)和试样台(6)连接，多个透镜设置在灯丝(7)下方。
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