[实用新型]一种转轴运行平稳的晶圆清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种转轴运行平稳的晶圆清洗装置，包括一轴承箱，轴承箱包括：一外环套、一第一轴承、一第二轴承、一大间隔环、一小间隔环以及一挡止件，外环套设有轴向贯穿的一第一端以及一第二端，外环套设有中空的一内腔，第一端的口径小于内腔的口径，接近第二端的内腔环形设有一凹槽，第一轴承、第二轴承设在内腔内，大间隔环、小间隔环分别设在内腔内并且同时设在第一轴承、第二轴承之间，大间隔环设在小间隔环的外部周围，挡止件配合凹槽设置，防止第一轴承、第二轴承以及大间隔环、小间隔环脱离外环套。本实用新型实用性强，运作稳定。

主权项

一种转轴运行平稳的晶圆清洗装置，包括一轴承箱，其特征在于，所述轴承箱包括：一外环套、一第一轴承、一第二轴承、一大间隔环、一小间隔环以及一挡止件，所述外环套设有轴向贯穿的一第一端以及一第二端，所述外环套设有中空的一内腔，所述第一端的口径小于所述内腔的口径，接近所述第二端的所述内腔环形设有一凹槽，所述第一轴承、所述第二轴承设在所述内腔内，所述大间隔环、所述小间隔环分别设在所述内腔内并且同时设在所述第一轴承、所述第二轴承之间，所述大间隔环设在所述小间隔环的外部周围，所述挡止件配合所述凹槽设置，防止所述第一轴承、所述第二轴承以及所述大间隔环、所述小间隔环脱离所述外环套。