[实用新型]一种带有直角度校准功能的内圆机有效
申请号: | 201520397563.9 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204748961U | 公开(公告)日: | 2015-11-11 |
发明(设计)人: | 冀伟振;赵斌;张龙;冯立军 | 申请(专利权)人: | 河北宁晋松宫半导体有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 一种带有直角度校准功能的内圆机,其包括内圆机主体,在内圆机主体的外壁上开有入料口,位于入料口下方在内圆机主体的外壁上垂直连接一水平设置的托扳,在托扳的上表面设有一支架,该支架向上延伸并与一主尺相连,所述的主尺位于入料口上方并与入料口的轴线相平行,在主尺上配装有游标,在游标上连接有十字激光器,十字激光器的发光端与托扳的上表面相对,通过增设十字状激光器精确测量单晶直角度,使得硅棒正对切刀,保证切割完毕后硅片的直角度。保证了切割后单晶直角度控制在1mm,可以准确校准硅棒位置,操作极为简单。 | ||
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【主权项】:
一种带有直角度校准功能的内圆机,其特征在于:包括内圆机主体(1),在内圆机主体(1)的外壁上开有入料口,位于入料口下方在内圆机主体(1)的外壁上垂直连接一水平设置的托扳(2),在托扳(2)的上表面设有一支架,该支架向上延伸并与一主尺(6)相连,所述的主尺(6)位于入料口上方并与入料口的轴线相平行,在主尺(6)上配装有游标(7),在游标(7)上连接有十字激光器(8),十字激光器(8)的发光端与托扳(2)的上表面相对。
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