[实用新型]一种针对卧式线溅射系统的掏空靶材有效
| 申请号： | 201520404738.4 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204702801U | 公开（公告）日： | 2015-10-14 |
| 发明（设计）人： | 赵渺 | 申请（专利权）人： | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 童海霓;刘彦 |
| 地址： | 517003 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种针对卧式线溅射系统的掏空靶材，包括背板和靶材本体，所述靶材本体层叠设置在所述背板表面，所述靶材本体由若干靶材单元拼接形成，所述靶材单元包括若干分居两侧排列的侧部靶材单元和设置在侧部靶材单元端部的端部靶材单元，所述侧部靶材单元和端部靶材单元形成内部封闭区域，所述内部封闭区域内部掏空形成中部掏空区域。本实用新型的针对卧式线溅射系统的掏空靶材具有靶材利用率高、镀膜品质稳定和结构简单的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 针对 卧式 溅射 系统 掏空 | ||
【主权项】：
一种针对卧式线溅射系统的掏空靶材，其特征在于：包括背板（1）和靶材本体，所述靶材本体层叠设置在所述背板（1）表面，所述靶材本体由若干靶材单元拼接形成，所述靶材单元包括若干分居两侧排列的侧部靶材单元（2）和设置在侧部靶材单元（2）端部的端部靶材单元（4），所述侧部靶材单元（2）和端部靶材单元（4）形成内部封闭区域，所述内部封闭区域内部掏空形成中部掏空区域（3）。
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