[实用新型]一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机有效
| 申请号： | 201520405228.9 | 申请日： | 2015-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN204736066U | 公开（公告）日： | 2015-11-04 |
| 发明（设计）人： | 苏建修;王占奎;姚建国;李勇峰;庞子瑞;马利杰;程海丰;付素芳 | 申请（专利权）人： | 河南科技学院 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B57/02;B24B57/00 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司 41107 | 代理人： | 吕振安 |
| 地址： | 453003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机，本实用新型的技术方案要点是，一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机，在放卷辊的后方设置有水平辊，水平辊的后方设置有后驱动轮装置，后驱动轮装置的后方设置有抛光辊机构，抛光辊机构的下方设置有清洗液收集装置，抛光辊前面、抛光辊机构的辊与辊之间设有抛光液喷淋装置，抛光辊机构的后方设有前驱动轮装置，前驱动轮装置的后方设有导轮，导轮的后方设有清洗机构，清洗机构的后方设有风淋装置，风淋装置的下方设有清洗液收集装置，风淋装置的后方设有收卷辊。本实用新型具有结构简单、成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械抛光 超薄 柔性 显示 衬底 抛光机 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械抛光超薄柔性显示衬底的抛光机，它包括放卷辊，收卷辊、水平辊，粗抛光辊机构、精抛光辊机构、清洗机构、抛光液喷淋装置、清洗液收集装置，其特征在于：放卷辊的后方设置有水平辊，水平辊的后方设置有后驱动轮装置，后驱动轮装置的后方设置有抛光辊机构，抛光辊机构的下方设置有清洗液收集装置，抛光辊前面、抛光辊机构的辊与辊之间设有抛光液喷淋装置，抛光辊机构的后方设有前驱动轮装置，前驱动轮装置的后方设有导轮，导轮的后方设有清洗机构，清洗机构的后方设有风淋装置，风淋装置的下方设有清洗液收集装置，风淋装置的后方设有收卷辊。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南科技学院，未经河南科技学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520405228.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：双工位立式珩磨机床
- 下一篇：建筑工地用型材切割装置
