[实用新型]高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层有效
| 申请号： | 201520405859.0 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204752842U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 卢建富;蒋海明;楼建军;楼义;李伟 | 申请（专利权）人： | 浙江金盾链条制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强;陈龙 |
| 地址： | 311813 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层，属于保护性涂层技术领域。该涂层包括若干个交替沉积的TiAlN层和ZrSiN层；在制作该涂层时，将基片用TiAl靶和ZrSi靶交替溅射若干次制得。本实用新型的涂层具有硬度高、高耐磨性的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硬度 耐磨性 tialn zrsin 纳米 结构 保护性 涂层 | ||
【主权项】：
一种高硬度和高耐磨性TiAlN/ZrSiN纳米结构保护性涂层，其特征在于，该涂层包括若干个交替沉积的TiAlN层和ZrSiN层。
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