[实用新型]一种多晶铸锭炉氩气吹扫导流装置有效
| 申请号： | 201520407923.9 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204714943U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 陈文杰;甘大源;唐珊珊;王振刚;刘智;刘东;陈吉亮 | 申请（专利权）人： | 山东大海新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人： | 种道北 |
| 地址： | 257300 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种多晶铸锭炉氩气吹扫导流装置，包括石英坩埚，在石英坩埚的四周外侧安装有石墨壁板，在石墨壁板上部间隔设置有若干个出气孔，在石墨护板的上端面安装有一盖板，在盖板的中部设有一通孔，一竖直设置的外接氩气的进气管穿过通孔插入到石英坩埚的上方，所述出气孔为锥孔，出气孔的小口设在石墨壁板的外侧表面上，出气孔的大口设在石墨壁板的内侧表面上，在石墨壁板的外侧表面上沿石墨壁板的周向水平安装有一倾斜向下的导流板，导流板整体倾斜遮挡在出气孔的外侧。本实用新型通过减小出气孔面积和改变杂质气体的流动方式，有效防止杂质气体从出气孔排出后又倒流回坩埚内部空间，对硅锭造成二次污染，充分保证了硅锭的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 炉氩气吹扫 导流 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶铸锭炉氩气吹扫导流装置，包括一水平设置的上端开放的石英坩埚，在石英坩埚的底面外侧安装有石墨底板，在石英坩埚的四周外侧安装有石墨壁板，石墨壁板的上部高出石英坩埚的上端，在石墨壁板上部高出石英坩埚的部分沿石墨壁板的周向间隔设置有若干个出气孔，在石墨护板的上端面安装有一盖板，在盖板和石墨壁板的外侧分别设有加热器，在盖板的中部设有一通孔，一竖直设置的外接氩气的进气管穿过通孔插入到石英坩埚的上方，其特征在于：所述出气孔为锥孔，出气孔的小口设在石墨壁板的外侧表面上，出气孔的大口设在石墨壁板的内侧表面上，在石墨壁板的外侧表面上沿石墨壁板的周向水平安装有一倾斜向下的导流板，导流板的上端与石墨壁板螺纹相连，导流板的下端悬空设置，且导流板整体倾斜遮挡在出气孔的外侧。
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