[实用新型]离子束抛光设备有效
| 申请号： | 201520408818.7 | 申请日： | 2015-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN204771859U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 吴丽翔;邱克强;曾思为;付绍军 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种离子束抛光设备。该离子束抛光设备包括：工件台、离子束发生器和运动控制系统。其中，工件放置于工件台上，离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑；运动控制系统驱动工件台和/或离子束发生器运动，离子束束斑在工件表面移动，实现对工件的抛光。本实用新型中，离子束束斑的形状和大小均可控，从而提高了离子束抛光设备的可控性和控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 抛光 设备 | ||
【主权项】：
一种离子束抛光设备，其特征在于，包括：工件台、离子束发生器和运动控制系统(20)；其中，工件放置于工件台上，离子束发生器发出形状和大小实时可控的离子束束斑(2)；运动控制系统(20)驱动工件台和/或离子束发生器运动，所述离子束束斑(2)在工件表面移动，实现对工件的抛光。
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