[实用新型]生长C偏M向蓝宝石单晶的泡生法单晶炉结构

摘要

本实用新型提供了一种生长C偏M向蓝宝石单晶的泡生法单晶炉结构，它包括籽晶杆换热器、上隔热屏、电极、加热体、侧隔热屏、坩埚盖、坩埚、钨盘、支柱、下隔热屏及底部保温砖结构，籽晶夹固定在籽晶杆换热器上，上隔热屏设置在加热体上方，电极设置在上隔热屏两侧上方，侧隔热屏设置在加热体外侧，下隔热屏设置在加热体下方，蓝宝石单晶设置在坩埚内，坩埚设置在加热体内，钨盘设置在坩埚下方，支柱连接钨盘，侧隔热屏由顺次设置的钼筒、保温砖层、保温填料层组成。本实用新型在原有单晶炉基础上，针对C偏M向晶体的生长特点及对温场的要求，对单晶炉籽晶杆热交换器、侧隔热屏、下隔热屏及支柱结构进行调整，形成适于非常规、对称性差C偏M向蓝宝石单晶生长的热场结构。

主权项

一种生长C偏M向蓝宝石单晶的泡生法单晶炉结构，其特征在于它包括籽晶杆换热器、上隔热屏、电极、加热体、侧隔热屏、坩埚盖、坩埚、钨盘、支柱、下隔热屏及底部保温砖结构，籽晶夹固定在籽晶杆换热器上，上隔热屏设置在加热体上方，电极设置在上隔热屏两侧上方，侧隔热屏设置在加热体外侧，下隔热屏设置在加热体下方，蓝宝石单晶设置在坩埚内，坩埚设置在加热体内，钨盘设置在坩埚下方，支柱连接钨盘，侧隔热屏由顺次设置的钼筒、保温砖层、保温填料层组成。