[实用新型]改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构有效
| 申请号： | 201520409598.X | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN204849118U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;张学军;李铁 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构，它包括籽晶杆热交换器、炉体上部、侧壁及底部冷却系统结构，炉体上部冷却结构包括小炉盖与大炉盖两部分，炉体上部、侧壁及底部冷却系统结构均设置有冷却用循环水管，籽晶杆热交换器与小炉盖内冷却水管管径大于等于大炉盖内冷却水管管径，采用4或6分管，炉体底部冷却水分为与支柱相接触内圆及炉底其余部分两部分独立控制，炉体侧壁冷却水管路分上、中下三部分单独控制。本实用新型对蓝宝石单晶炉的冷却系统结构进行改进，以发挥泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统对晶体生长过程的影响，增大冷却系统的调节范围，形成适于生长高品质、大尺寸蓝宝石单晶的改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构。 | ||
| 搜索关键词： | 改进 泡生法 蓝宝石 单晶炉 冷却系统 结构 | ||
【主权项】：
一种改进的泡生法蓝宝石单晶炉冷却系统结构，其特征在于该结构包括籽晶杆热交换器、炉体上部、侧壁及底部冷却系统结构，炉体上部冷却结构包括小炉盖与大炉盖两部分，炉体上部、侧壁及底部冷却系统结构均设置有冷却用循环水管，籽晶杆热交换器与小炉盖内冷却水管管径大于等于大炉盖内冷却水管管径，采用4或6分管，炉体底部冷却水分为与支柱相接触内圆及炉底其余部分两部分独立控制，炉体侧壁冷却水管路分上、中下三部分单独控制。
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