[实用新型]一种真空镀膜机的气动阀有效
| 申请号： | 201520413793.X | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN204784784U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 肖桥兵 | 申请（专利权）人： | 广东易能纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/48 | 分类号： | F16K1/48;F16K31/12;F16K41/04 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 何树良 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市松山湖高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的气动阀，包括阀体，所述阀体的底部设置有进气口，所述阀体内设置有控制进气口打开或关闭的阀盖，所述阀体的外部设置有气缸，所述阀体的上盖板设置有一通孔，所述通孔内设置有轴套，所述轴套内设置有密封件，所述气缸的活塞杆穿过轴套和密封件，并伸入至阀体内与阀盖固定连接，本实用新型结构简单、工作稳定、易维修且密封性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 气动阀 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机的气动阀，包括阀体（1），其特征在于：所述阀体（1）的底部设置有进气口（2），所述阀体（1）内设置有控制进气口（2）打开或关闭的阀盖（3），所述阀体（1）的外部设置有气缸（4），所述阀体（1）的上盖板设置有一通孔，所述通孔内设置有轴套（5），所述轴套（5）内设置有密封件（6），所述气缸（4）的活塞杆（41）穿过轴套（5）和密封件（6），并伸入至阀体（1）内与阀盖（3）固定连接。
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