[实用新型]一种用于多晶硅生产中还原进料三氯氢硅汽化的装置有效
| 申请号： | 201520415356.1 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN204917993U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 杨志国;柯曾鹏;陈维平;臧楠;薛民权 | 申请（专利权）人： | 华陆工程科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 西安文盛专利代理有限公司 61100 | 代理人： | 佘文英 |
| 地址： | 710065*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于多晶硅生产中还原进料三氯氢硅汽化的装置，此装置主要由还原尾气换热器和雾化汽化混合器组成，工艺设备及控制系统简单。该装置通过雾化汽化混合器使液相三氯氢硅完全雾化，同时进料氢气与还原尾气换热，氢气携带热量与雾化后的三氯氢硅小液滴换热，使三氯氢硅完全汽化，并进行充分混合；实现在不引入外部热源的条件下，保证液相三氯氢硅进料的完全汽化，并与进料氢气充分混合，然后进入多晶硅还原炉进行沉积反应；达到节约能耗，降低生产成本和投资成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 生产 还原 进料 三氯氢硅 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅生产中还原进料三氯氢硅汽化的装置，其特征是包括雾化汽化混合器和还原尾气换热器，雾化汽化混合器与还原尾气换热器和多晶硅还原炉连接，多晶硅还原炉又与还原尾气换热器连接从而组成还原进料三氯氢硅汽化的装置。
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