[实用新型]一种多轴联动UV曝光装置有效
| 申请号： | 201520434040.7 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN204731527U | 公开（公告）日： | 2015-10-28 |
| 发明（设计）人： | 赵灿东;蔡仁甲 | 申请（专利权）人： | 河源市璐悦自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 罗丹 |
| 地址： | 517000 广东省河源市城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种多轴联动UV曝光装置，所述多轴联动UV曝光装置包括菲林架、底部固定板、四组自由度调节座、三个步进电机、三个丝杆模组、三个光电感应开关，所述四组自由度调节座安装在所述底部固定板上，其中三组自由度调节座的每组自由度调节座通过一个丝杆模组连接一个步进电机的输出端，所述菲林架通过四组自由度调节座连接底部固定板，连接丝杆模组的三组自由度调节座的每个自由度调节座上设有一个光电感应开关。本实用新型的多轴联动UV曝光装置提升生产中产品的对位精度，提升了良品率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 联动 uv 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种多轴联动UV曝光装置，其特征在于：所述多轴联动UV曝光装置包括菲林架、底部固定板、四组自由度调节座、三个步进电机、三个丝杆模组、三个光电感应开关，所述四组自由度调节座安装在所述底部固定板上，其中三组自由度调节座的每组自由度调节座通过一个丝杆模组连接一个步进电机的输出端，所述菲林架通过四组自由度调节座连接底部固定板，连接丝杆模组的三组自由度调节座的每个自由度调节座上设有一个光电感应开关。
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